¿Qué países pueden producir máquinas de fotolitografía?

Sólo China, Japón y los Países Bajos pueden fabricar máquinas de fotolitografía en el mundo. Las empresas representativas en Japón son Nikon y Canon. La máquina de litografía alguna vez fue la "rey", pero cayó en declive después de ser superada por ASML en los Países Bajos. China también puede fabricar máquinas de litografía, pero no son tan sofisticadas como las mejores máquinas de litografía.

Actualmente, ASML, una empresa holandesa, casi monopoliza el mercado mundial de máquinas de litografía de alta gama, principalmente máquinas de litografía EUV, que son extremadamente costosas. Ningún competidor puede igualarlo por el momento y cada año se suministra constantemente a grandes clientes.

Clasificación de los alineadores de mascarillas

Las máquinas de litografía se dividen generalmente en tres tipos según la simplicidad de su funcionamiento: manuales, semiautomáticas y totalmente automáticas.

1. Manual: se refiere al método de ajuste de alineación, es decir, la alineación se completa ajustando manualmente la perilla para cambiar el eje X, el eje Y y los ángulos thita. La precisión de la alineación no es alta. .

2. Semiautomático: Significa que el posicionamiento y alineación se puede realizar mediante el eje eléctrico según el CCD.

3. Automático: se refiere a la carga y descarga desde el sustrato. La duración y el período de exposición están controlados por el programa. Las máquinas de fotolitografía automática satisfacen principalmente las necesidades de capacidad de procesamiento de la fábrica.