¿Qué máquina de litografía es la mejor?

China, Japón, Países Bajos.

Entre las empresas que pueden fabricar máquinas, Países Bajos (ASML) es la más avanzada tecnológicamente. El precio también es el más caro. El umbral técnico de las máquinas de litografía es extremadamente alto y puede considerarse producto de la sabiduría humana.

En la actualidad, en el mercado mundial de máquinas de litografía de alta gama por debajo de 45 nanómetros, la cuota de mercado holandesa de ASML ha alcanzado más del 80%, y ASML es actualmente el único proveedor de máquinas de litografía en el mundo que puede logra una precisión de 7 nanómetros, por lo que ASML no es exagerado decir que él es el verdadero súper señor de la industria mundial de chips.

Principales indicadores de rendimiento

Los principales indicadores de rendimiento de la máquina de litografía son: rango de tamaño de sustrato admitido, resolución, precisión de alineación, método de exposición, longitud de onda de la fuente de luz, uniformidad de la intensidad de la luz, eficiencia de producción. , etc.

La resolución es una forma de describir la precisión de línea más fina que se puede lograr mediante el procesamiento de fotolitografía. La resolución de la fotolitografía está limitada por la difracción de la fuente de luz, por lo que está limitada por la fuente de luz, el sistema de fotolitografía, el fotorresistente y el proceso.

La precisión de la alineación es la precisión de posicionamiento de los patrones entre capas durante la exposición multicapa.

Los métodos de exposición se dividen en contacto de proximidad, proyección y escritura directa.

La longitud de onda de la fuente de luz de exposición se divide en regiones ultravioleta, ultravioleta profunda y ultravioleta extrema. Las fuentes de luz incluyen lámparas de mercurio, láseres excimer, etc.