¿Cuántos países en el mundo pueden producir máquinas de fotolitografía?
Solo China, Japón y los Países Bajos pueden fabricar máquinas de litografía en el mundo. Las empresas representativas de Japón son Nikon y Canon. Una vez fueron los "reyes" de las máquinas de litografía. ASML de los Países Bajos y China colapsaron también pueden fabricar máquinas de litografía, pero no pueden alcanzar el nivel de sofisticación de las mejores máquinas de litografía.
Actualmente, ASML, una empresa holandesa, casi monopoliza el mercado mundial de máquinas de litografía de alta gama, principalmente máquinas de litografía EUV. Por el momento, ninguna empresa competidora puede igualarla. vende constantemente a grandes clientes cada año.
Clasificación de las máquinas de litografía
Las máquinas de litografía generalmente se dividen en tres tipos según su facilidad de uso: manuales, semiautomáticas y totalmente automáticas.
1. Manual: se refiere al método de ajuste de alineación, que consiste en completar la alineación cambiando su eje X, eje Y y ángulo tita ajustando manualmente la perilla. La precisión no es alta.
2. Semiautomático: se refiere a que la alineación se puede posicionar y sintonizar según el CCD a través del eje eléctrico.
3. Automático: se refiere a la carga y descarga del sustrato. El tiempo y el ciclo de exposición son controlados por el programa. La máquina de litografía automática satisface principalmente las necesidades de rendimiento de la fábrica.