¿Cuáles son los tipos comunes de tecnologías de bombas de vacío?
Generalmente no son más que métodos mecánicos, físicos, químicos o físico-químicos.
Los métodos mecánicos incluyen:
1. Bomba de vacío de volumen variable
Es una bomba de vacío que utiliza cambios periódicos en el volumen de la cámara de la bomba para completar la succión y el escape para lograr el propósito de bombeo. El gas se comprime antes de salir de la cámara de la bomba. Este tipo de bomba se divide en dos tipos: tipo alternativo y tipo rotativo.
Pertenecen a esta categoría las bombas de vacío alternativas, las bombas de vacío de paletas rotativas, las bombas de vacío de paletas fijas, las bombas de vacío de válvula deslizante, las bombas de vacío trocoides, las bombas de vacío de anillo líquido, las bombas de vacío secas y las bombas de vacío Roots.
2． Bomba de transferencia de impulso
Se basa en palas giratorias de alta velocidad o chorros de alta velocidad para transferir impulso al gas o a las moléculas de gas, de modo que el gas pueda transferirse continuamente desde la entrada a la salida de la bomba.
Pertenecen a esta categoría las bombas de vacío moleculares, las bombas de chorro de vapor de agua y las bombas de difusión.
Método físico:
Bomba de vacío de captura de gas
Es una bomba de vacío que hace que las moléculas de gas sean adsorbidas o condensadas en la superficie interior de la bomba. Se puede dividir en los siguientes varios tipos.
1. Bomba de adsorción, que es una bomba de vacío de tipo captura que se basa en la adsorción física de adsorbentes con grandes superficies (como sustancias porosas) para bombear aire. Por ejemplo, bomba de adsorción de tamiz molecular.
2. Bomba Getter, que es una bomba de vacío que utiliza getters para capturar gases químicamente. Los getters suelen ser metales o aleaciones en forma de películas frescas a granel o depositadas. A este tipo pertenecen, por ejemplo, las bombas de sublimación de titanio y las bombas de aspiración de circonio-aluminio.
3. Bomba de iones getter, que hace que el gas ionizado se adsorba en la superficie del material getter mediante la acción de un campo eléctrico o un campo electromagnético para lograr el propósito de bombeo. Tiene los siguientes dos tipos.
1) Bomba de iones de evaporación: El gas ionizado en la bomba es adsorbido sobre el material de succión que se sublima (o evapora) de manera intermitente o continua y recubre la pared interna de la bomba para lograr la extracción de aire. . Por ejemplo, bomba de iones orbitales (o bomba balística de titanio).
2) Bomba de iones de pulverización catódica: una bomba de vacío en la que el gas ionizado de la bomba se adsorbe en el material getter pulverizado continuamente por el cátodo para lograr el propósito de extracción de aire.
4. Bomba criogénica, que es una bomba de vacío que utiliza superficies de baja temperatura para capturar gases.