¿Qué país es la máquina de litografía más avanzada del mundo?
Entre estas empresas que pueden fabricar máquinas, la tecnología de Países Bajos (ASML) es la más avanzada. El precio también es el más alto. El umbral técnico de las máquinas de litografía es extremadamente alto y es producto de la sabiduría humana.
En la actualidad, en el mercado mundial de máquinas de litografía de alta gama por debajo de 45 nm, ASML de los Países Bajos posee más del 80 % de la cuota de mercado, y ASML es actualmente el único proveedor de máquinas de litografía en el mundo que Puede alcanzar una precisión de 7 nm. Por lo tanto, no es exagerado decir que ASML se ha convertido en una verdadera superpotencia en la industria mundial de chips.
Principales indicadores de rendimiento
Los principales indicadores de rendimiento de la máquina de litografía son: rango de tamaño de sustrato admitido, resolución, precisión de alineación, método de exposición, longitud de onda de la fuente de luz, uniformidad de la intensidad de la luz, eficiencia de producción. , etc.
La resolución es una descripción de la precisión de línea más fina que la fotolitografía puede lograr. La resolución de la litografía está limitada por la difracción de la fuente de luz y, por lo tanto, por la fuente de luz, el sistema de litografía, el fotorresistente y el proceso.
La precisión de la alineación es la precisión de posicionamiento de los patrones entre capas durante la exposición multicapa.
Los métodos de exposición se dividen en contacto de proximidad, proyección y escritura directa.
La longitud de onda de la fuente de luz de exposición se divide en regiones ultravioleta, ultravioleta profunda y ultravioleta extrema, y las fuentes de luz incluyen lámparas de mercurio y láseres excimer.