¿Se ha entregado la máquina de litografía?
La máquina de litografía ha sido entregada.
La máquina de litografía es un equipo clave para la fabricación de chips. Su principio de funcionamiento se basa en tecnología óptica y tecnología química. La máquina de litografía proyecta imágenes a través de luz ultravioleta y transfiere la imagen a una superficie de sustrato específica a través de la óptica. sistema. . Fabricar máquinas de litografía de alta gama es tan difícil como bombas atómicas. Mirando alrededor del mundo, sólo ASML, Canon, Nikon, SMEE y otras empresas tienen la capacidad de producir máquinas de litografía.
Vale la pena señalar que SMEE es un fabricante de máquinas de fotolitografía de China. La empresa se fundó en 2002. En 2012, las máquinas de litografía de la serie SSB500 producidas por SMEE se vendieron en el extranjero por primera vez. En 2018, el proyecto de la máquina de litografía de 90 nm de SMEE pasó la aceptación formal. Recientemente, SMEE entregó dos máquinas de fotolitografía a Kunshan Tongxingda.
Según información oficial de SMEE, la resolución más alta de las máquinas de fotolitografía producidas actualmente por la empresa sólo puede alcanzar los 90 nm. El procesador Pentium 4 lanzado por Intel en 2004 se fabricó utilizando la tecnología de proceso de 90 nm. En otras palabras, en el campo de las máquinas de litografía, todavía existe una brecha de unos 20 años entre mi país y los países occidentales. dominado por Estados Unidos, Japón, Corea del Sur, etc. Con el Estado a la cabeza, el desarrollo de la industria de semiconductores de China todavía tiene un gran potencial.
El principio de funcionamiento de la máquina de litografía:
Durante el proceso de procesamiento del chip, la máquina de litografía transmite el haz a través del diagrama del circuito dibujado a través de una serie de fuentes de luz, energía y forma. métodos de control.
El proceso general de fotolitografía requiere limpieza y secado de la superficie de la oblea de silicio, imprimación, recubrimiento por rotación del fotorresistente, horneado suave, exposición de alineación, poshorneado, revelado, horneado duro, grabado láser y otros procesos. El chip que ha sido fotolitografiado una vez puede seguir pegado y expuesto. Cuanto más complejo es el chip, más capas del diagrama del circuito se requieren y más preciso es el proceso de control de la exposición.