El contenido del elemento depende del espectro XPS total.
La espectroscopia de fotoelectrones de rayos X (XPS) es una tecnología avanzada de análisis microscópico de materiales y componentes electrónicos. XPS o ESCA es la abreviatura de rayos X como fuente de luz de excitación.
XPS no solo proporciona información sobre la estructura molecular y el estado de valencia para la investigación química, sino que también proporciona información sobre la composición y el contenido elemental, el estado químico, la estructura molecular y los enlaces químicos de varios compuestos para la investigación de materiales electrónicos.
La energía de los fotones de rayos X está entre 1000 ~ 1500 ev, lo que no solo puede ionizar los electrones de valencia de las moléculas, sino también excitar los electrones internos. El nivel de energía de los electrones internos se ve muy poco afectado por la. entorno molecular.
La energía interna de enlace de electrones de un mismo átomo no difiere mucho en diferentes moléculas, por lo que es característica. Los fotones que inciden sobre una superficie sólida excitan los fotoelectrones, y la técnica experimental de analizar los fotoelectrones con un analizador de energía se llama espectroscopia de fotoelectrones.