¿Por qué sólo los Países Bajos pueden fabricar máquinas de fotolitografía?
1. Acumulación de tecnología
La ASML de los Países Bajos se separó de la propia Philips y tiene una gran fortaleza técnica, por lo que ASML también heredó muchas de las características clave de Philips cuando se estableció. , que es una base importante para su desarrollo.
2. Los países occidentales disfrutan y apoyan la tecnología.
Los Países Bajos pueden poseer la tecnología central de máquinas de litografía de alta gama, que es inseparable del soporte técnico de algunos países occidentales. Por ejemplo, el equipo de fuente de luz actual de ASML lo proporcionan empresas estadounidenses y las lentes de ASML las proporciona Zeiss de Alemania. Estas empresas se encuentran entre las mejores del mundo en sus respectivos campos.
Además, Samsung y Hynix, incluida Corea del Sur, también compartirán algunas tecnologías con ASML, por lo que, con el soporte técnico de muchos países, ASML en los Países Bajos puede desarrollarse y crecer así.
3. Apoyo financiero y apoyo al mercado por parte de las empresas de chips.
Una de las razones importantes por las que Asml pudo salir de la competencia de tres patas y lograr un monopolio exclusivo fue el apoyo financiero y de mercado de las empresas de chips. Por ejemplo, algunos de los gigantes de chips que conocemos, como Intel, MediaTek, TSMC, Samsung, Hynix, etc., son accionistas de ASML. Estos gigantes de chips continúan brindando apoyo financiero a ASML.
Además, debido a que son accionistas de ASML, estos gigantes de chips darán prioridad a los equipos de ASML al comprar máquinas de litografía. Esta es también una de las razones importantes para el desarrollo y crecimiento de ASML.
Indicadores de rendimiento de máquinas de litografía.
Los principales indicadores de rendimiento de la máquina de litografía incluyen: rango de tamaño de sustrato admitido, resolución, precisión de alineación, método de exposición, longitud de onda de la fuente de luz, uniformidad de la intensidad de la luz, eficiencia de producción, etc.
La resolución es una descripción de la precisión de línea más fina que la fotolitografía puede lograr. La resolución de la litografía está limitada por la difracción de la fuente de luz y, por lo tanto, por la fuente de luz, el sistema de litografía, el fotorresistente y el proceso.
La precisión de la alineación es la precisión de posicionamiento de los patrones entre capas durante la exposición multicapa. Los métodos de exposición se dividen en contacto de proximidad, proyección y escritura directa. La longitud de onda de la fuente de luz de exposición se divide en regiones ultravioleta, ultravioleta profunda y ultravioleta extrema, y las fuentes de luz incluyen lámparas de mercurio y láseres excimer.