¿Para qué se utiliza una máquina de fotolitografía?

Una máquina de fotolitografía es una máquina que utiliza luz para grabar con el fin de grabar el fotorresistente con luz. Por lo tanto, la máquina de fotolitografía utiliza una lente para reducir un diagrama de circuito grande al tamaño de un chip y luego usa luz para corroer el fotorresistente para lograr el propósito de formar un circuito automáticamente.

Los alineadores de mascarillas son máquinas muy complejas. En la actualidad, el fabricante más potente de máquinas de litografía es ASML de los Países Bajos. Ya pueden producir máquinas de litografía en línea de 5 nm.

Clasificación de los alineadores de mascarillas

Las máquinas de litografía se dividen generalmente en tres tipos según la simplicidad de su funcionamiento: manuales, semiautomáticas y totalmente automáticas.

Manual: se refiere al método de ajuste de alineación. La alineación se completa ajustando manualmente la perilla para cambiar el eje X, el eje Y y los ángulos thita. La precisión de la alineación no es alta.

Semiautomático: se refiere al posicionamiento y alineación basado en el CCD a través del eje eléctrico.

Automático: se refiere a la carga y descarga desde la placa base. La duración y el período de exposición están controlados por el programa. Las máquinas de fotolitografía automática satisfacen principalmente las necesidades de capacidad de procesamiento de la fábrica.